智能大功率超声波清洗电源的研制

1 前言

鉴于超声波清洗效果好、效率高、成本低等优点，超声波清洗机被广泛应用于电子、机械、钟表、光学、医疗、化纤、电镀等行业[1]。在超声波清洗设备中，超声波电源是其重要组成部分之一。现有的超声波电源大多数采用专用集成控制芯片（如SG3525、TL494） 或单片一体电感器机产生PWM 脉冲信号, 经功率放大、阻抗和调谐匹配后, 推动换能器将电信号转换为机械振动, 产生超声波。这两种电源都存在着各自的局限性，前一种控制方法动态响应慢，参数调整不方便且温度漂移严重[2]，而采用单片机直接产生PWM信号，虽然能够得到高精度和高稳定度的控制特性，实现灵活多样的控制功能，但是由于受其工作频率的限制，输出的PWM信号频率分辨率较低，难以满足频率的微调。针对以上超声波电源存在的诸多问题，本文基于PWM技术，应用单片机结合模拟集成电路组成智能控制系统，研制了一种性能稳定、控制调整简便且成本低的数字化超声波电源。

2 超声波电源的组成及原理框图

超声波电源主要由主电路和控制电路两部分组成，其结构示意图如图电感厂家1所示。主电路采用交直交结构，单相交流电经过整流和滤波，形成直流电，经全桥逆变器实现直流电压转变为频率与换能器谐振频率一致的交变电压，逆变输出交变电流，再通过匹配网络，送至负载换能器。控制电路主要为逆变主电路提供开关脉冲信号，驱动逆变主电路工作，并借助反馈回路和给定电路来实现对逆变器的闭环控制。

图1 超声波电源结构示意图

3 超声波电源电路设计

3.1 PWM信号发生器

PWM信号发生器原理图如图2所示，它采用单片机与模拟电路相结合的方式产生PWM信号。首先通过Rt设定压控振荡器的输出频率，并将该输出送入单片机作为定时/计数器1（T/C1）的时钟源。将单片机的T/C1置于相位和频率可调PWM工作模式，此时，计数器的上限值决定PWM的频率，而比较匹配寄存器的值决定了占空比的大小。PWM频率的计算公式为：

PWM频率=压控振荡器输出频率/（1+计数器上限值） （1）

图中单片机选用AVR系列的ATmega128单片机。在T/C1的控制下，单片机由PB5和PB6可以输出两路互补的PWM波形，用来驱动全桥逆变电路。

图2 PWM信号发生电路

该信号发生器在扫频控制，保护信号的处理以及自动频率跟踪等方面具有很大的优势，采用模拟电路与单片机控制相结合的方法，提高了扫描信号的频率精度，同时实现了对扫频信号频率和幅度的数字化控制。在保护信号的处理方面，当外部电路出现异常时，可以用保护信号OV_I快速关断与门，停止PWM信号的输出，同时通过指示灯给出相应的报警信号。另外，单片机通过检测反馈回来的换能器两端电压信号和电流信号的相位差，可以实时调整PWM信号的输出频率，实现频率自动跟踪。

3.2 全桥功放电路及其驱动

单片机输出的PWM信号电流小，驱动能力弱。需经MOSFET栅极驱动芯片IR21844驱动后才能控制MOSFET模块。驱动电路如图3所示。单片机产生的PWM信号经高速光耦HCPL-2631隔离并由三极管放大后送入IR21844。

IR21844输出端HO和LO的波形分别与IN端输入波形逻辑相同和相反，幅值有一定的放大(10V～20V)，其输入/输出时序图如图4所示。SD端接高电平时，HO和LO正常输出，接低电平时，2个输出端被封锁。DT为死区时间调整端，通过调整图3中电阻R7和R9的阻值可以调节死区时间，防止全桥电路出现直通。

图4 IR21844的输入输出时序图

图5所示为系统的全桥功率放大电路。其工作原理如下：交流电经整流滤波变成平滑的直流电压V+。该电压加在MOSFET功率管Q3、Q4、Q5、Q6组成的逆变桥上。当PW1为高电平，PW2为低电平时，HO1和LO2为高电平，HO2和LO1为低电平（见图3），此时Q3、Q6导通，Q4、Q5截止，插件电感变压器T初级两端的电压U=V+，流经变压器初级线圈的电流方向由上至下；当PW1为低电平，PW2为高电平时，Q4、Q5导通，Q3、Q6截止，变压器T初级两端的电压U=电感滤波器 -V+，变压器初级线圈的电流方向为由下至上。重复上述工作过程，就可以在输出变压器次级得到一个与主振信号同频且电压幅度较高的准方波信号。由于功放管工作在伏安特性曲线的饱和区或截止区，集电极功耗降到最低限度，从而提高了放大器的能量转换效率，使之可达90%以上[3] 。

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