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尺寸缩小对沟槽MOSFET性能的影响

来源:    作者:    发布时间:2015-05-07 08:22:05    浏览量:

44.jpg三脚电感

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3 结语

当相邻功率电感器单位元胞尺寸不断缩小后,尤其在设计栅极氧化膜较薄的器件时,在传统的TMOS工艺中,源区注入会穿透栅极侧壁影响器件性能。采用突起式结构可以有效地避免刻蚀工艺及源区注入对较短沟道器件的间接影响,消除了器件穿贴片电感通的风险,保证了器件的稳定性能和可重电感厂家复性。

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